第九十四章 光刻機比想像的容易

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  光刻機很難。

  真的非常非常難。

  難度係數是氫彈的十倍。

  哪怕傾舉國之力也不可能在短期內拿得下。

  以上這些,是經常充斥在衛明耳邊的話,聽得他幾乎耳朵長繭。

  真的有那麼難麼?

  這些天,親自進入研發工廠,了解透了光刻機的工作原理,在「老闆工作間」內,利用體內的小黑,輕鬆打磨出幾十個合格的高精密零件,以及20塊的「鍋蓋」鏡片——每塊「鍋蓋」鏡片,由四十層玻璃疊加而成,表面凸起都不得超過1納米。

  「很簡單嘛,好像沒什麼難的。」

  看著面前成批成批的精度完全合格的零件,衛明撇了撇嘴說道。

  「到底難在了什麼地方?」

  「光源發生器非常難。」

  蒲偉才說道:「要製造出波長13.5納米的極紫外光,必須要用193納米波長的深紫外光,擊打自由落體的金屬錫滴,並且要在極短的時間內,連續擊中錫滴兩次,每秒重複5萬次,才能產生足夠強度的極紫外光。」

  要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。

  自由落體過程中,不僅要被雷射擊中,由水滴狀攤平成圓餅狀,再進行第二次擊打,才能擊發出最強烈的極紫外光……整個過程,完全是動態中發生的,如同用繡花針擊中蒼蠅,而且要連續擊中兩次。

  並在一秒內,重複五萬次這套操作。

  「你不是說已經解決光源問題了麼?而且能源利用率達到了5%?」衛明不解的道。

  「光源是解決了,是因為我們用的擊打光源,是特殊晶體擊發出的132納米光,能量利用率肯定比193納米光高的多,但要想製造強度足夠的13.5納米波長的極紫外光,還是得通過擊打錫滴的方式達到,這是唯一可行的路徑。」

  「也就是說,你們只搞定了擊打光源,然後就說搞定了光源……這兩個不是一碼事吧?」

  衛明眉頭皺了起來。

  「衛總,不是我們愛搞虛假宣傳,可是長期的科學研究,如果沒有點成果的話,誰會關注我們,上面怎麼給我們撥款?所以哪怕只是部分突破,也得重點宣傳一番。」

  一旁的向廣林解釋說道。

  「我們正在攻克的最後一項技術難題,就是錫滴的擊打頻率問題。」

  蒲偉才也道:「我們已經解決了連續擊打問題,但每秒最多重複5000次,不過我們的能量利用率更高,只需做到每秒重複2萬次,就有足夠使用的光照強度了。」

  「所以我們的能量利用率不是沒有意義,每秒2萬次比每秒5萬次,明顯容易實現多了。」

  「每秒2萬次……」

  衛明沉吟了一下,道:「還缺什麼條件,阻止你們達到這個頻率?」

  「精度,控制系統的精度。」

  蒲偉才說道:「如同一個時鐘,同時精確掌控2萬滴錫滴的自由下落,以及4萬次的擊打,時間上,每秒內的誤差,不得超過十億分之一秒;距離上,每秒不能超過1納米,並且還要設計一套『偏差糾正』系統,只要誤差累積過大,就會自動糾正,讓系統長期穩定的運轉下去。」

  「目前我們正在全力攻克控制系統,糾偏系統稍稍靠後,但也安排了團隊進行攻關。」

  「當然如果從島國進口的相關零件,很快能到我們手中,可能三個月內,我們就能實現擊打頻率突破2萬次。」

  島國?

  三個月?

  衛明搖頭笑了笑,道:「缺什麼零件,就交給我吧,我給你們搗鼓出來。」

  接著他連續搗鼓了三天時間。

  雷射頻率控制器。

  高靈敏距離感應器。

  還有這個什麼器,那個什麼裝置,以及衛明叫不出專業名稱的東西。

  三天內他一共搞了十幾個。

  然後讓蒲偉才他們,把這些裝置,塞入到控制系統中,以極高精度要求,組裝到了一起。

  再開啟了試運行。

  「釋放錫滴,初始頻率每秒1滴。」蒲偉才進行指揮說道。

  「開始釋放。」

  「兩次擊打成功,攤平形狀完美,激發效果完美!」

  「增加釋放頻率。」

  「每秒50次試驗成功。」

  「每秒500次試驗成功!」

  「每秒5150次試驗成功!追平最高紀錄。」操作員聲音微顫的道。

  「繼續增加!往上加高一點!」

  蒲偉才也開始激動了,這才第一次進行調試而已,居然就追平了上一套零件不斷調試數百次創造的最高紀錄?

  「每秒5500次試驗成功,創造新的紀錄!」

  「再加!」

  每秒7000

  每秒9000

  每秒1萬

  ……

  一直加到每秒2萬,滿足使用頻率要求。

  所有人都被震驚到麻木,依然是取得成功!

  「再加,再往上加!」

  每秒3萬

  每秒4萬

  每秒4萬5

  每秒5萬!

  「錫滴釋放頻率達到上限,特麼還是取得成功!」操作員毫無形象的狂喊。

  「轉化光強是額定光強的2.5倍!」

  向廣林眼睛通紅的大吼:「這意味著這台光刻機處理晶元的效率,至少艾思邁EUV的兩倍以上,我們一台,能頂他們兩台!」

  「你們別叫!」

  蒲偉才高高揮起了手,目光盯著持續時間後的數據,極力壓制情緒的說道:「看看每秒5萬滴錫滴,每秒10萬次擊打的情況下,這個系統能穩定工作多長時間?你們別吵,你們的噪音,可能影響到它的發揮。」

  所有人都安靜了下來。

  屏住了呼吸。

  目光都死死盯上了持續時間。

  5分鐘

  15分鐘

  第29分38秒

  由於累積誤差越來越大,沒有糾偏系統進行糾正,整個系統終於自動停止了運行。

  啪!

  蒲偉才右拳用力轟擊自己左掌,滿臉漲紅的說道:「3分鐘就足夠了,只要3分鐘,就不用配套設計非常複雜的糾偏系統了,沒想到它堅持了足足半個小時!我們只需設計一套非常簡單的糾偏系統,就能讓它長期穩定的工作了,整個系統的複雜度至少降低10%,為我們省下大量的時間!」

  「太厲害了,太神奇了!」

  作為項目負責人,他自己也大呼小叫:「光源問題徹底解決了,雙工台現成就有,鏡頭完全能用,我們的EUV光刻機,完成度至少超過90%!」

  「我們完全看到勝利的希望了!」

  說著,他淚如壩崩,幾欲捧面大哭一場。

  堅持十幾年了!這一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然觸手可及。

  見他如此,跟他一個團隊的其他成員,也都擦著眼角,發出嗚嗚的聲音。

  「還沒真成功呢,眼淚不如留到慶功宴。」

  一個略有些掃興的聲音傳來。

  卻聽衛明說道:「蒲博士,剛才你還一臉抗拒的樣子,懷疑我打磨過的東西不能用,現在呢?信我說的話了吧,零件問題,對我公司不是個問題,你說的技術難點,感覺也不怎麼難。」

  「沒錯沒錯。」

  蒲偉才連忙擦淚,露出一張童真笑臉:「衛總你說的沒錯,只要衛總出馬,光刻機,沒有任何什麼難點,我相信在衛總的帶領下,我們能解決一切技術問題!」

  他這次是真心服了,眼裡只有崇拜。

  「沒錯,完全多虧了衛總。」

  「衛總辛苦了,給衛總捶捶肩。」

  「衛總的神級打磨,能創造工業上的奇蹟!」

  「衛總才是最大的功臣,感謝衛總。」

  又一波馬屁聲覆蓋而來。

  這一次,蒲偉才不僅沒有咳嗽制止,反而是裡面拍的最厲害的那個。

  當然,馬屁聽一小會就夠,衛明讓他們馬上投入到工作中,繼續尋找問題,解決問題,直到沒有任何問題為止。

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