第231章 歷史性時刻,命名逐光【二合一求訂閱】

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  第231章 歷史性時刻,命名逐光【二合一求訂閱】

  「我說老賀,今天居然這麼平靜,可有點不太像你了。」

  12月10日,周四。

  微電子裝備總部大樓,毫米級實驗室內,丁順安看著面色淡然的賀鵬濤,忍不住主動搭話詢問。

  經過將近兩個月的研發,燕京材料研究院方面,成功製造出多環結構光源靶盤,並第一時間送到魔都。在分析研判後,決定於今天展開新一輪實驗驗證。

  由於這段日子裡,微電子裝備這邊,也在全力攻堅集成電路等部件。

  可以說對國產極紫外光刻機的研發,已正式進入全面加速階段。

  只要徹底解決穩定,且功率達到250瓦商用標準的極紫外光源,便又能往前邁出巨大一步。

  同時更好的反擊海外輿論。

  而按照以往表現,面對這種國產極紫外光刻機,研發過程中的歷史性關鍵點,賀鵬濤往往會格外緊張。甚至不惜親自上手操作,生怕中途出現什麼岔子,導致實驗過程中發生變故。

  但今天他卻一改常態。

  除面色鎮定外,還把更多的工作,交給了自己的學生潘耀去做。

  他此刻,把丁順安的話聽進耳中,下秒瞥過目光。

  理所當然答道:「我相信徐總師的方案,自然沒甚好擔心的。」

  「至於潘耀嘛,總要給年輕人鍛鍊的機會,否則如何快速成長,肩負起未來的科研任務。」前腳才剛說完,緊接著他又特意補充一句。

  「這話確實沒毛病。」丁順安點點頭自語般應聲。

  話落。

  視線下意識,看向身旁正站的筆直的徐銘。

  那份胸有成竹的自信,確實讓人安心。

  回想自己剛接觸徐銘時,何嘗不是和賀鵬濤一樣。

  既操心國產極紫外光刻機的研發進度,就生怕如此年輕的徐銘,無法勝任國家重點項目總設計師的工作。

  直到上次驗證極紫外光源時,過程中還忐忑不已。

  可現在卻內心坦然,就像是提前看到了實驗結果,認定必然成功。

  說實話剛意識到這種想法時,他自己都嚇了一跳,畢竟這對一位資深院士來說確實不應該。

  科研實驗是嚴謹的,在沒有看到最終結果前,任何情況都有可能發生。

  失敗更是再正常不過。

  但偏偏受徐銘的影響,形成了這份信心。

  只能說徐銘展現出來的天賦和水平,實在太超出常人有限的認知,讓原本幾乎不可能做到的難題,變成了一個個的現實。

  徐銘聽著兩位老院士的對話,並未開口參與交流。

  他身為項目總設計師,儘管璇璣系統那邊,仍面臨著隨機幾何分析框架的構建證明,然像今天這樣,關乎著核心光源系統的實驗,肯定還是要親臨現場坐鎮的。

  所以在同蘇振豪,安排好燕京那邊的事宜,便專程趕回來一趟。

  在提出這項新的,獲得穩定極紫外光源的方法時,他便有了改變光源靶盤結構,來提高光源功率的想法。

  既然50瓦功率的光源都驗證成功,那麼這次顯然也不會有問題。

  確實不需要太擔心。

  就當他念頭停留在這裡,只見潘耀邁步走過來,駐足後立即開口進行報告。

  「徐總師。」

  「演示裝置和多環結構光源靶盤,以及雷射設備,都安裝檢測完畢,隨時可以開始實驗。」

  「您下指令吧。」

  徐銘聞言正了正臉色,接著不再有任何遲疑。

  嘴唇微動吐出幾個字。

  「驗證開始。」

  潘耀強安耐住激動回道:「是徐總師。」

  話音落下的同時,立刻轉身回到實驗裝置控制系統屏幕前,在工程人員的操作下,正式啟動雷射設備。

  透過觀察窗,看向實驗室內的那台演示裝置。

  只見從多個雷射設備中,同時發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外雷射,在照射到高速旋轉的光源靶盤上後,雷射在每一個點上瞬間激發耦合態。

  輻射出穩定的極紫外光。

  與此同時。

  賀鵬濤和丁順安兩位院士,也難以繼續保持平靜,面部表情上隱隱浮現出激動之色。

  目光牢牢緊盯著,屏幕中實時反饋的數值。

  甚至下意識念出聲來。

  「輻射出的光源波長,依舊為13.5納米,屬於極紫外光波段。」

  「輸出光源穩定在80瓦————」

  「120瓦————

  ,「200瓦——

  「250瓦,我們驗證成功了!」

  隨著期望的數字終於出現,在聲音落下瞬間,制室內頓時爆發出熱烈的掌聲,慶祝這一里程碑式重要時刻。

  「我早就說過,徐總師的方案沒問題。」賀鵬濤待大家的掌聲落下,抬手輕擦了下濕潤的眼角,毫不掩飾堆在臉上的喜悅之情。

  旁邊的丁順安,同樣內心激動不已。

  視線依舊鎖定在那台毫米級演示裝置上,心情複雜連連感慨。

  「從我國開始重點研究光刻機,到現在多少年了,總算實現了可商用的,足以領先世界的核心光源系統,我這輩子沒啥遺憾嘍。」

  「才只是成功驗證了核心光源系統,你就沒遺憾了,起碼也要看到咱們的極紫外光刻機問世。」賀鵬濤笑著接過話茬,跟在丁順安後面補充了兩句。

  丁順安附和道:「有徐總師在,這是遲早的事。」

  說完兩人轉頭看向徐銘。

  「徐總師,請允許我代表所有光機所人員,由衷向你表示感謝。」賀鵬濤最先開口道:「沒有你的物理理論,我們根本不可能這麼快,便攻克穩定功率的極紫外光源。」

  「僅這一項理論成果,就起碼讓咱們少走了幾年,甚至十幾年的彎路。」丁順安也沒沉默。

  面對兩位院士的如此稱讚,徐銘反應更快,連忙出聲回應。

  「兩位院士言重了,既然這個擔子交給我,那我自然會盡最大努力做好。」

  「何況後面還有更重要的工作,需要我們大家完成。」

  把熱烈氛圍推向高峰。

  接下來的時間,實驗室交給了潘耀負責。

  繼續進行光源實驗,好記錄更加詳細的數據,用於之後極紫外光刻機核心光源系統的組裝。

  徐銘則和賀鵬濤與丁順安兩位院士,來到辦公室安排後續工作。

  「下一步我們微電子裝備,就會正式把新的極紫外光源技術,應用到光刻機的核心光源系統上,另外雙工件台控制系統和計量檢測系統,也都在同步的攻堅中,這些年集團的研究可不是一點成果沒有。」

  辦公室內丁順安首先發言,在講到最後一句時,能感受到話語中的自信。

  春城光機所擅長光刻機的核心光源系統,微電子裝備卻是主攻其他部件技術O

  尤其作為國產光刻機主力研發團隊,肯定在部分領域也有著獨到之處,甚至並不落後海外技術多少。

  如今最困難的極紫外光源被順利解決,就好比在兩截道路中間的大山中,打通了一條可通行的隧道,當車輛全速行駛起來,距離終點站又豈會遠。

  賀鵬濤雖來自春城光機所,但對於微電子裝備方面的研究還是比較認可的。

  尤其現在還進行了資源整合。

  聞言也當即講出自己的看法和決心。

  「眼下我們有了極紫外光源,並且還是比轟擊錫滴更加高效容易的技術,根據國內技術整體評估,我看最多兩年時間,就能成功組裝出首台國產極紫外光刻機。」

  「阿斯麥公司的新一代極紫外光刻機,恐怕也會在兩三年時間內發布。」丁順安想到什麼接過話茬補充。

  賀鵬濤笑呵呵回複句。

  「那就剛好比一比,看看誰的極紫外光刻機,綜合性能更加領先。」

  徐銘聽完兩人的對話,嘴角也不由得微微上揚,對阿斯麥公司的光刻機,還真湧現出些許期待。

  他也想看看,採用了全新物理現象理論,研發出的極紫外光刻機究竟能達到何種水準。

  估摸著拿下阿斯麥在行業中的地位,恐怕不會太難。

  思維思忖至此,他很快輕微搖了下頭,暫時把這件事拋在腦後,主動提起接下來的正事。

  「後續極紫外光刻機的研發,就還拜託賀院和丁院來坐鎮負責了,如果遇到什麼技術瓶頸的話,隨時通知我參加研討會商議解決方案。」

  「等璇璣系統的開發穩定後,我會多關注這邊的。」

  目前全新隨機幾何分析框架的構建,正值最後的關鍵幾個證明步驟。

  等完成此理論,便能正式著手開發新的算法。

  在這種情況下,他肯定不能逗留在微電子裝備,今天下午就要趕回燕京繼續推導。

  主要璇璣系統和光刻機,都是高端晶片製造產業鏈中的重要環節,只不過一個屬於前端一個屬於後端。

  想實現百分之百國產化升級,就必須把璇璣系統和國產極紫外光刻機,同時研發出來才行,否則單獨離開哪項都無法發揮出自身的作用。

  無論賀鵬濤還是丁順安,他們自然都清楚,璇璣系統的重要性。

  不過在聽完徐銘這番話之後,互相對視一眼,依舊能看出彼此瞳孔中的疑惑。

  本以為徐銘選擇把精力放在新一代EDA上,只是藉助總設計師的身份,好讓國內EDA公司更好整合技術,加快全新一代極紫外光EDA工具算法問世。

  結果在璇璣系統項目發布後,他們才意識到,徐銘不單單是負責人那麼簡單。

  而是親自參與了璇璣系統的開發。

  很難想像只是有著被燕大信院培養的經歷,如何能去完成複雜龐大的EDA軟體。

  要說一點不擔憂,那絕對是假的。

  畢竟這要是等國產極紫外光刻機問世,配套的璇璣系統卻遲遲無法完成,說不定反倒成了為海外做嫁衣。

  若當初徐銘轉到信息算法領域也就罷了,關鍵精力基本全在數學和物理學科上。

  於是念頭在腦海中快速閃過下,賀鵬濤院士實在沒忍住心裡的好奇,主動開□向徐銘確認了一句。

  「徐總師。」

  「你真的在參與璇璣系統的開發工作?」

  說著便把目光牢牢鎖定在徐銘身上,迫不及待等待徐銘的回答。

  就連旁邊的丁順安也是同樣動作。

  徐銘看到兩人表現,自然猜到他們在擔心什麼,不過話到嘴邊卻只是點頭承認下來。

  其餘並未過多解釋。

  「沒錯。」

  他暫時賣了關子,緊隨其後又笑著補充。

  「你們可要多加油才行,否則璇璣系統到時候,可會比國產極紫外光刻機先發布。」

  不多時。

  當一些工作安排交接完成,徐銘便不再繼續逗留,很快離開動身返回燕京。

  大家在戀戀不捨的,目送徐銘身影,從自己視野中消失之後,賀鵬濤和丁順安選擇短暫留在原地,回想起剛才辦公室里的話開口交流。

  「老賀,你說徐總師,能開發出璇璣系統嗎?」

  「徐銘的天賦你又不是不知道,既然他有這個把握和底氣參與,說不定真會在信息算法領域也做出貢獻。」

  「眼下咱們的當務之急,是要儘快組裝出,首台國產極紫外光刻機,我可不想被燕京那邊領先。」賀鵬濤笑著丟下這句話便轉身離開不再言語。

  只有丁順安不知想到了什麼,望著徐銘離開的方向低聲感嘆一句。

  「若是在信息算法領域也這麼強,那可就太恐怖了。」

  針對250瓦穩定極紫外光源的驗證成功,微電子裝備這邊依舊沒有選擇隱瞞,在第二天的上午便通過專門註冊的官方帳號進行宣布。

  同時還面向全網,徵集國產極紫外光刻機的名字。

  距離公布璇璣系統項目,才過去兩個月左右,在極紫外光源上又取得了重大突破。

  對網友們來說,無疑是最大的驚喜。

  越發相信國產極紫外光刻機,用不了多久,就會面向國際舞台發布。

  情緒高漲激烈之下,大家踴躍參與名字徵集,最終經各方面綜合考量,將百分之百國產的,首台極紫外光刻機命名為逐光」系列。

  而隨著璇璣系統和逐光的先後公布,海外主流媒體也終於有些意識到不對勁。

  無法想像號稱人類文明科技結晶的光刻機,其核心光源系統為何如此簡單,前後不過幾個月的時間便被攻克。

  這種進展速度,不由得讓人聯想到,當初突然首飛並在極短時間內服役的殲2

  0戰鬥機。

  不過類似的擔憂僅出現一瞬,便被清理出去。

  最終在一些媒體的報導,和行業人士的評價下,稱華方的極紫外光源不等同於傳統的極紫外光。

  其光刻效果也相差極大。

  表示就算掌握這樣的穩定光源,研發出的光刻機也無法保證晶片的光刻效果。

  仍舊和阿斯麥的產品有著很大差距。

  根本不需要擔心。

  然而這回國內,無論官方還是網友們,都對海外媒體的自娛自樂懶得去搭理。

  反正究竟誰是小丑,等雙方的光刻機亮出來,自然是清清楚楚。

  至於備受關注和討論的徐銘,就更加不會被外界的環境所影響,他從微電子裝備回到燕大數院,便直接把自己關在辦公室屋子裡,完全沉浸到新隨機幾何分析框架的構建證明中。

  伴隨著時間一分一秒流逝,步驟愈發完善同時,也再次獲得新的學科經驗值。

  本來正常情況下,憑藉他如今的數學學科等級,想獲得經驗值不是一件很容易的事,就算去處理較難的問題也會非常有限。

  尤其涉及到擅長的數論和代數幾何等分支。

  但眼下構建的新理論體系,卻屬於隨機幾何,嚴格意義上來講的話,其工作實質相當於是將,微分幾何和隨機分析在非平凡層面進行了深度融合。

  轉眼將近半個月過去。

  徐銘的證明工作,也順利來到尾聲。

  「接下來需要在流形上,定義全新的隨機場論,並對隨機幾何的平均場宏觀觀測。」

  這天理教樓辦公室,徐銘站在幾塊寫字板前,大腦飛速運轉使思維碰撞激發出靈感。

  口中自顧自低喃的同時,手上動作則越來越快,在指尖不斷湧現出複雜,但嚴謹符合數學邏輯的公式和符號。

  「在流形(M,g)上,定義一個隨機標量場φ()。」

  「這個場代表有效反應完成度」。」

  「場的演化由一個新型的隨機偏微分方程描述————」

  「導出宏觀粗糙度R(q),與底層流形曲率功率譜之間的解析映射關係。」

  「由上可得在一定的標度極限下,無限多個隨機微流形的統計效應,可以等價於一個有效平均流形,上的一個確定性但具有分數階導數的反常擴散方程。」

  當結論的最後一個字寫完,徐銘停下手上動作,原本認真嚴肅的神情,逐漸浮現出一抹欣喜笑容。

  「這些天的努力總算沒有白費,終於搞定了。」

  從正式提出璇璣系統,到今天十二月底,總算成功證明了構建的隨機幾何分析框架理論。

  也就是說藉助他的這項理論,待完成開發出超導求解算法後,工程師只需測量或模擬宏觀的粗糙度,就可以反向去推斷出光刻膠的幾何隨機性缺陷,反之也可以通過調整化學配方,來直接預測宏觀線條的質量。

  這種效率和作用,遠不是海外的主流算法可以相比。

  畢竟能夠像他這樣,為了一個算法,直接構建出全新的數學理論工具。

  相信放眼全球,都找不出來第二個。

  在確定證明結論沒有問題後,徐銘整個人迫不及待。

  簡單收拾了一下,便急匆匆出門,準備前往華天科技向璇璣系統項目組宣布這個消息。

  因為這代表著,璇璣系統最核心的算法,終於能正式開始編寫開發。

  如果放在以前的時候,他構建出新的數學工具,肯定會先告訴院裡的田綱院士和老師張魯平,並用最快的速度把框架體系整理為理論論文發表。

  毫不誇張的講,儘管他構建的隨機幾何分析框架的理論工具,知名度上或許不如霍奇猜想。

  但實際意義和價值,對學界來說卻是巨大的。

  恐怕發表之後,又會引起新一輪,數學界的大地震。

  奈何現在的話,他的目標是儘快開發出璇璣系統,可沒時間去撰寫純數理論論文。

  只能先把這件事往後放放。

  等璇璣系統完成,首台國產逐光極紫外光刻機問世再去撰寫論文,將之發表在數學學報上。

  倒也算他這個副主編,為自家數學期刊崛起做貢獻。

  另外該說不說,自霍奇猜想被證明後,數學界雖湧現出不少,對導出平展Motivic上同調復形理論的研究,帶來的熱度和影響力卻非常有限。

  似乎他這個數學皇帝不出手,學界就沒盛會了,當真是獨自站在山巔的孤獨O

  約摸花了半個小時,徐銘乘坐專車,順利到達華天科技公司所在的科技園區。

  剛走進去便見很多人主動打招呼。

  「徐總師好。」

  「徐總師,需要我為您喊人嗎?」

  「告訴蘇組長,讓他集合所有項目成員,五分鐘後在高層會議室召開項目會議。」徐銘在一位助理面前停下腳步沉聲拋出兩句話。

  後者看到今天徐銘突然過來,且面色嚴肅,哪裡會不知道是有重要事情。

  於是不敢有絲毫耽擱,立馬過去安排。

  「好的徐總師,我這就去聯繫。」

  徐銘目送對方離開,便直接乘坐電梯,先一步前往最高層的會議室。

  這段時間他雖主要待在燕大,但對於華天科技這邊已然非常熟悉,很快便來到會議室坐在主座位置上。

  差不多他屁股剛坐下沒有多久,便見蘇振豪等人幾乎是小跑著涌了進來。

  連其中幾位稍微上年齡的成員都不例外。

  「徐總師,是有新任務安排嗎?」

  蘇振豪近前後,整個人都顧不上坐下,連忙向徐銘主動詢問起來。

  兩個多月時間過去,項目組對新的物理模型,已然能熟練進行仿真,但因缺少設計方案中的算法,雖擁有很高的仿真精度卻需要極大的計算量。

  按照這種情況繼續下去,想開發出璇璣系統,將會耗費大量時間和超算資源。

  因此在得知徐總師突然召開項目會議,頓時便意識到了什麼,強壓著心裏面湧現出來的激動和興奮,用最快速度來到樓上會議室。

  「大家先坐吧。

  徐銘嘴角掛著淡淡笑容,先招呼眾人坐下,然後方宣布令人期待的好消息。

  「今天的項目會議很簡單,內容只有一件事,那就是從明天開始全力開發璇璣系統的核心算法。」

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