第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功
第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功
寬敞明亮的機房內，首台逐光極紫外光刻機，被放置在中心位置，是全場毫無疑問的焦點。前方牆上的大屏幕處，最上面掛著個紅色橫幅。
寫有一行標語。
「預祝全系統首次鏈路功能驗證流片圓滿成功」
而現場除總設計徐銘，賀鵬濤與丁順安兩位院士，和微電子裝備項目科研人員外，還包括華天科技公司，科技部領導以及多位院士專家。今天全部聚集在這裡，只為共同見證國家高端晶片製造的崛起。
其中很多人，都是項目某環節參與者。
最終的結果如何，對他們來說，稱得上是與有榮焉。
心中都憋著一口氣。
但像科學院院長余高遠，則完全把自己，放在觀眾的席位上，基本全程保持沉默，很少參與發言。
把本次驗證的主導權，悉數交給總設計師徐銘。
僅在心中希冀驗證圓滿成功。
當視線重新回到徐銘身上，他已經伸手接過，賀院遞過來的逐光」最新檢測數據，隨即垂下目光神情認真的仔細查看。
從海外新思公司，與阿斯麥半導體設備，共同發出公告，宣布將在明年正式推出，全新的極紫外光刻機和配套EDA算法工具，到現在已過去三個多月時間。
然論他們如何都不會想到，在這短短三個多月內，首台逐光極紫外光刻機，已完成組裝。
將採用全新技術的核心光源系統，和工作件物鏡系統等零部件整合。
這幾天在差不多二十四小時，不停地調試優化下，基本滿足實際流片驗證標準。
在如此情況下，由國家晶片製造產業專項領導小組表決，定下今天開展首次全系統鏈路功能驗證流片實驗。
「沒問題。」徐銘重新把數據文件遞還過去說。
賀鵬濤接下笑著說：「大家等這一天可是很久了，眼下終於要變成現實。」他講完不知是想到了什麼，臉上顯露出來的情緒，相比剛才多出幾分傷感。
早在十年前。
國家發布中長期科學和技術發展規劃綱要，把極大規模集成電路製造技術及成套工藝，排在16個國家重大科技專項首位，真正重視起晶片製造技術，並給予持續和巨額的經費支持。
他便被任命為項目主要負責人，紮根光機所研發國產光刻機。
儘管數年來取得一定成果，但距離海外阿斯麥公司，仍面臨著巨大技術層面差距。
當時行業主流觀點是，未來二十年時間，很有可能都無法實現追趕。
從某種程度上講，比戰鬥機更加複雜棘手。
對任何一位光機所人來說，看到國產光刻機崛起，實現自主高端晶片製造，是大家最真摯質樸的夢想。
他賀鵬濤自然也不例外。
而如今因為徐銘，這個尚不到三十歲的青年才俊，國家的極大規模集成製造技術，迎來飛速突破進展。
以往的夢想得以實現，且親眼目睹。
情緒難免會有所宣洩。
這是人之常情。
「你就放心吧老賀，咱們的逐光肯定能經受檢驗。」丁順安聞言，及時接過話茬，成功轉移賀鵬濤的注意力。
作為逐光系列光刻機的研發人員，就相當於是把孩子養大的父母。
自家孩子究竟是個什麼水準，基本是心知肚明。
流片驗證雖尚未開始，但最終結果如何，多少會有一個預期數值。
徐銘依舊保持著冷靜的思維，將賀鵬濤和丁順安兩位的交流，悉數聽進耳中，雖想說些寬慰的話，給他們吃上一顆定心丸，但嘴唇微動下，還是把話給咽了回去。
逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心滿滿。
但要知道一件事，流片驗證的數據，可不單靠這兩項左右，其中任何一個環節都能產生影響。
比如較為關鍵的光刻膠。
原本他的打算，是想通過璇璣系統，反向設計適配的高端光刻膠，儘管這會延長流片驗證的日子，卻可以保證良品率。
剛好科學院化學研究所，在國產光刻膠的研究上，取得了新突破。
便索性提前進行流片驗證。
畢竟站在上面的角度，留給國內的時間確實不多，必須盡最大努力，和阿斯麥同步推出極紫外光刻機，把行業可能會受到的衝擊損失，減低至最小範圍。
於是念頭停留在這裡，他方沉聲吐出一句話。
「開始工作吧，流片驗證的數據如何，很快我們就能知道。」
隨著話音落下，身旁的賀鵬濤和丁順安，也一改剛才臉上的笑容，神情變得嚴肅認真。
點點頭前往各自的工作區域，指揮科研人員調試。
為流片驗證做最後準備。
伴隨時間一分一秒流逝，機房現場的氛圍，因逐漸瀰漫的緊張感，變得有些窒息。
連余高遠等場外人員，都仿佛要屏住呼吸。
生怕因為自己發出的動靜，導致今天的流片驗證出現問題。
不知道過去多久，只聽站在操作台前的潘耀，突然開口向徐銘進行匯報，總算暫時打破眼下的氛圍。
「報告徐總師，設備已調試完畢，隨時可以進行流片。」
說完。
負責優化璇璣系統的蘇振豪，同樣不再保持沉默，緊跟在潘耀的話後，也停下手上動作，轉過身報告工作進度。
「璇璣系統優化完成。」
聞言徐銘猛地從椅子上站起身。
目光先是依次在潘耀和蘇振豪身上掃過，然後看向賀鵬濤和丁順安，在短暫的眼神交流後，下秒便不再過多耽擱時間，立即下達了最重要的指令。
「開始吧。」
「是徐總設計師。」潘耀和蘇振豪幾乎同時回應。
緊接著所有科研人員，再次投入到緊張的工作狀態，神情保持著高度專注。
此次流片驗證採用的測試晶片，是一顆不包含複雜功能的專用測試晶片，其版圖由璇璣系統軟體生成。
包括解析度測試圖案，套刻精度標誌，電性測試機構，和特殊監測圖形等。
不多時。
在超淨間外，徐銘和科研團隊，通過觀察窗，看著第一片矽片被送入珠光極紫外光刻機，整個氣氛莊重而充滿期待。
當全系統鏈路功能驗證流片流程開始啟動，嚴格按照璇璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行，而這個過程也需要一定的時間，需在晶圓片完成製造後，進行光學量測和電子顯微鏡檢測。
或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直沒發言的余高遠，終於捨得主動開口。
「真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，沒經歷過這種心情了。」
說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，為大家的情緒增添一些不同的波動。
「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啟深院士，也接過話茬道：「國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。」
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。
此次整合國內資源，成立國家集成電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至信息學科，憑藉自身實力和天賦，帶領光刻機和晶片設計軟體，快速實現技術疊代。
以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有著巨大的壓力。
只能依靠自身。
盡最大努力，保證國產高端光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。
幸好他們的運氣還算不錯，在首台逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速運轉，腦海中一直想著流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
「我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。
如果說其他人的目標，是晶片製造技術，追趕上阿斯麥設備的產品。
那麼他則是要超過。
況且在付出這麼多努力和心血後，想達成這一點，也並非是什麼不可能做到的事。
余高遠對徐銘的了解，無疑要比現場任何人都深。
他在聽到這句話，當即應和道：「有你的這句話，我對流片結果可是更加期待了，看來又要給我驚喜。」
眾人之間的交流並未持續多久，很快就又被流片過程吸引。
目睹百分之百國產化，正在運行的逐光極紫外光刻機，團隊士氣越發高昂。
由於整個流片過程，包括光刻和刻蝕，以及沉積等數十道工序，且被嚴密監控，因此往往要歷時數周時間才能結束。
面對這種情況，大家毅然留在微電子裝備。
都想第一時間看到流片數據，也好見證國內晶片製造歷時上，真正里程碑時刻。
很快來到月底。
高考結束分數陸續出爐，准大學生開始填寫志願，選擇自己心儀的高校專業。
如果這時候去參加，各地舉行的招生活動，則會發現燕大所在展台位置，基本上一個學生和家長都沒有，但偏偏被旁邊的箐華等，學校招生老師羨慕的不行。
沒辦法。
正所謂樹的影，人的名。
在徐銘這張金字招牌下，燕大已然成為，全國最頂尖的高校。
徹底把箐華甩在後面。
甚至放眼國際，燕大也的地位排名，也在以肉眼可見的速度，每年持續上漲。
特別是有著瘋人院」美稱的數院。
有這些因素在，能夠上燕大的學生，根本不會糾結猶豫。
自然用不著參加這種活動。
放前幾年的時候，徐銘偶爾還會幫忙為學校招生宣傳，畢竟在他那一大堆頭銜中，最開始的可是燕大數院教授。
不過今年肯定是沒有這個時間。
6月27日，周二，微電子裝備集團總部。
今天光學測量實驗室內，要比以往任何時候都要熱鬧，尤其人員上更是打破記錄。
因為在外面房間內，愣是聚集了大十幾個身影。
且有將近一半，都為院士。
目前用於流片的晶圓片已完成製造，被送入了光學測量實驗室，進行關鍵的光學測量和電子顯微鏡檢測，這能夠得到詳細的流片數據，以及晶片良品率。
眾人眼下待在這裡，正是想第一時間知道結果。
明明面積不大的房間內，大家幾乎緊挨著坐下，卻愣是安靜的很。
紛紛保持著沉默。
誰都沒有率先開口打破僵局。
顯然心情都很緊張。
直到房間門外突然響起一陣敲門聲，瞬間讓眾人同時抬起視線望去，心臟仿佛都跳快了不少。
平時一向穩重的院長余高遠，更是首先脫口喊話。
「進來。」
穿著實驗服的科研人員推門進來，手中拿著份嶄新出爐的報告，腳步才剛邁進房間，便迫不及待開口匯報。
「徐總師，各位院士領導。」
「晶圓片的光學測量數據結果出來了————」
「直接講吧。」徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。
而這個時候，那位科員人員也沒有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。
「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」
當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。
標誌著國內終於擁有了，百分之百國產化的，高端極紫外光刻機。
不過大家並沒有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後面的其他流片數據項目結果。
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寬敞明亮的機房內，首台逐光極紫外光刻機，被放置在中心位置，是全場毫無疑問的焦點。前方牆上的大屏幕處，最上面掛著個紅色橫幅。
寫有一行標語。
「預祝全系統首次鏈路功能驗證流片圓滿成功」
而現場除總設計徐銘，賀鵬濤與丁順安兩位院士，和微電子裝備項目科研人員外，還包括華天科技公司，科技部領導以及多位院士專家。今天全部聚集在這裡，只為共同見證國家高端晶片製造的崛起。
其中很多人，都是項目某環節參與者。
最終的結果如何，對他們來說，稱得上是與有榮焉。
心中都憋著一口氣。
但像科學院院長余高遠，則完全把自己，放在觀眾的席位上，基本全程保持沉默，很少參與發言。
把本次驗證的主導權，悉數交給總設計師徐銘。
僅在心中希冀驗證圓滿成功。
當視線重新回到徐銘身上，他已經伸手接過，賀院遞過來的逐光」最新檢測數據，隨即垂下目光神情認真的仔細查看。
從海外新思公司，與阿斯麥半導體設備，共同發出公告，宣布將在明年正式推出，全新的極紫外光刻機和配套EDA算法工具，到現在已過去三個多月時間。
然論他們如何都不會想到，在這短短三個多月內，首台逐光極紫外光刻機，已完成組裝。
將採用全新技術的核心光源系統，和工作件物鏡系統等零部件整合。
這幾天在差不多二十四小時，不停地調試優化下，基本滿足實際流片驗證標準。
在如此情況下，由國家晶片製造產業專項領導小組表決，定下今天開展首次全系統鏈路功能驗證流片實驗。
「沒問題。」徐銘重新把數據文件遞還過去說。
賀鵬濤接下笑著說：「大家等這一天可是很久了，眼下終於要變成現實。」他講完不知是想到了什麼，臉上顯露出來的情緒，相比剛才多出幾分傷感。
早在十年前。
國家發布中長期科學和技術發展規劃綱要，把極大規模集成電路製造技術及成套工藝，排在16個國家重大科技專項首位，真正重視起晶片製造技術，並給予持續和巨額的經費支持。
他便被任命為項目主要負責人，紮根光機所研發國產光刻機。
儘管數年來取得一定成果，但距離海外阿斯麥公司，仍面臨著巨大技術層面差距。
當時行業主流觀點是，未來二十年時間，很有可能都無法實現追趕。
從某種程度上講，比戰鬥機更加複雜棘手。
對任何一位光機所人來說，看到國產光刻機崛起，實現自主高端晶片製造，是大家最真摯質樸的夢想。
他賀鵬濤自然也不例外。
而如今因為徐銘，這個尚不到三十歲的青年才俊，國家的極大規模集成製造技術，迎來飛速突破進展。
以往的夢想得以實現，且親眼目睹。
情緒難免會有所宣洩。
這是人之常情。
「你就放心吧老賀，咱們的逐光肯定能經受檢驗。」丁順安聞言，及時接過話茬，成功轉移賀鵬濤的注意力。
作為逐光系列光刻機的研發人員，就相當於是把孩子養大的父母。
自家孩子究竟是個什麼水準，基本是心知肚明。
流片驗證雖尚未開始，但最終結果如何，多少會有一個預期數值。
徐銘依舊保持著冷靜的思維，將賀鵬濤和丁順安兩位的交流，悉數聽進耳中，雖想說些寬慰的話，給他們吃上一顆定心丸，但嘴唇微動下，還是把話給咽了回去。
逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心滿滿。
但要知道一件事，流片驗證的數據，可不單靠這兩項左右，其中任何一個環節都能產生影響。
比如較為關鍵的光刻膠。
原本他的打算，是想通過璇璣系統，反向設計適配的高端光刻膠，儘管這會延長流片驗證的日子，卻可以保證良品率。
剛好科學院化學研究所，在國產光刻膠的研究上，取得了新突破。
便索性提前進行流片驗證。
畢竟站在上面的角度，留給國內的時間確實不多，必須盡最大努力，和阿斯麥同步推出極紫外光刻機，把行業可能會受到的衝擊損失，減低至最小範圍。
於是念頭停留在這裡，他方沉聲吐出一句話。
「開始工作吧，流片驗證的數據如何，很快我們就能知道。」
隨著話音落下，身旁的賀鵬濤和丁順安，也一改剛才臉上的笑容，神情變得嚴肅認真。
點點頭前往各自的工作區域，指揮科研人員調試。
為流片驗證做最後準備。
伴隨時間一分一秒流逝，機房現場的氛圍，因逐漸瀰漫的緊張感，變得有些窒息。
連余高遠等場外人員，都仿佛要屏住呼吸。
生怕因為自己發出的動靜，導致今天的流片驗證出現問題。
不知道過去多久，只聽站在操作台前的潘耀，突然開口向徐銘進行匯報，總算暫時打破眼下的氛圍。
「報告徐總師，設備已調試完畢，隨時可以進行流片。」
說完。
負責優化璇璣系統的蘇振豪，同樣不再保持沉默，緊跟在潘耀的話後，也停下手上動作，轉過身報告工作進度。
「璇璣系統優化完成。」
聞言徐銘猛地從椅子上站起身。
目光先是依次在潘耀和蘇振豪身上掃過，然後看向賀鵬濤和丁順安，在短暫的眼神交流後，下秒便不再過多耽擱時間，立即下達了最重要的指令。
「開始吧。」
「是徐總設計師。」潘耀和蘇振豪幾乎同時回應。
緊接著所有科研人員，再次投入到緊張的工作狀態，神情保持著高度專注。
此次流片驗證採用的測試晶片，是一顆不包含複雜功能的專用測試晶片，其版圖由璇璣系統軟體生成。
包括解析度測試圖案，套刻精度標誌，電性測試機構，和特殊監測圖形等。
不多時。
在超淨間外，徐銘和科研團隊，通過觀察窗，看著第一片矽片被送入珠光極紫外光刻機，整個氣氛莊重而充滿期待。
當全系統鏈路功能驗證流片流程開始啟動，嚴格按照璇璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行，而這個過程也需要一定的時間，需在晶圓片完成製造後，進行光學量測和電子顯微鏡檢測。
或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直沒發言的余高遠，終於捨得主動開口。
「真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，沒經歷過這種心情了。」
說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，為大家的情緒增添一些不同的波動。
「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啟深院士，也接過話茬道：「國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。」
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。
此次整合國內資源，成立國家集成電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至信息學科，憑藉自身實力和天賦，帶領光刻機和晶片設計軟體，快速實現技術疊代。
以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有著巨大的壓力。
只能依靠自身。
盡最大努力，保證國產高端光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。
幸好他們的運氣還算不錯，在首台逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速運轉，腦海中一直想著流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
「我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。
如果說其他人的目標，是晶片製造技術，追趕上阿斯麥設備的產品。
那麼他則是要超過。
況且在付出這麼多努力和心血後，想達成這一點，也並非是什麼不可能做到的事。
余高遠對徐銘的了解，無疑要比現場任何人都深。
他在聽到這句話，當即應和道：「有你的這句話，我對流片結果可是更加期待了，看來又要給我驚喜。」
眾人之間的交流並未持續多久，很快就又被流片過程吸引。
目睹百分之百國產化，正在運行的逐光極紫外光刻機，團隊士氣越發高昂。
由於整個流片過程，包括光刻和刻蝕，以及沉積等數十道工序，且被嚴密監控，因此往往要歷時數周時間才能結束。
面對這種情況，大家毅然留在微電子裝備。
都想第一時間看到流片數據，也好見證國內晶片製造歷時上，真正里程碑時刻。
很快來到月底。
高考結束分數陸續出爐，准大學生開始填寫志願，選擇自己心儀的高校專業。
如果這時候去參加，各地舉行的招生活動，則會發現燕大所在展台位置，基本上一個學生和家長都沒有，但偏偏被旁邊的箐華等，學校招生老師羨慕的不行。
沒辦法。
正所謂樹的影，人的名。
在徐銘這張金字招牌下，燕大已然成為，全國最頂尖的高校。
徹底把箐華甩在後面。
甚至放眼國際，燕大也的地位排名，也在以肉眼可見的速度，每年持續上漲。
特別是有著瘋人院」美稱的數院。
有這些因素在，能夠上燕大的學生，根本不會糾結猶豫。
自然用不著參加這種活動。
放前幾年的時候，徐銘偶爾還會幫忙為學校招生宣傳，畢竟在他那一大堆頭銜中，最開始的可是燕大數院教授。
不過今年肯定是沒有這個時間。
6月27日，周二，微電子裝備集團總部。
今天光學測量實驗室內，要比以往任何時候都要熱鬧，尤其人員上更是打破記錄。
因為在外面房間內，愣是聚集了大十幾個身影。
且有將近一半，都為院士。
目前用於流片的晶圓片已完成製造，被送入了光學測量實驗室，進行關鍵的光學測量和電子顯微鏡檢測，這能夠得到詳細的流片數據，以及晶片良品率。
眾人眼下待在這裡，正是想第一時間知道結果。
明明面積不大的房間內，大家幾乎緊挨著坐下，卻愣是安靜的很。
紛紛保持著沉默。
誰都沒有率先開口打破僵局。
顯然心情都很緊張。
直到房間門外突然響起一陣敲門聲，瞬間讓眾人同時抬起視線望去，心臟仿佛都跳快了不少。
平時一向穩重的院長余高遠，更是首先脫口喊話。
「進來。」
穿著實驗服的科研人員推門進來，手中拿著份嶄新出爐的報告，腳步才剛邁進房間，便迫不及待開口匯報。
「徐總師，各位院士領導。」
「晶圓片的光學測量數據結果出來了————」
「直接講吧。」徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。
而這個時候，那位科員人員也沒有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。
「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」
當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。
標誌著國內終於擁有了，百分之百國產化的，高端極紫外光刻機。
不過大家並沒有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後面的其他流片數據項目結果。
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