第283章 首塊晶圓的誕生
冷風卷著空氣被電離的焦糊味,迅速消失在漆黑的夜色里。
絕密車間厚重的防爆門後,卻翻滾著另一股足以熔穿鋼鐵的熱浪。
轟——嗡嗡嗡!
單晶矽提純設備在車間正中央發出低沉的運轉轟鳴,連帶著腳下的水泥地面都在微微發顫。
龐大的機械臂凌空探出,鋼鐵關節摩擦出刺耳的銳響。
機械爪死死鉗住第一批高純度多晶矽原料,精準地移向提純爐上方。
哐當!
厚重的爐蓋向兩側滑開。
機械臂猛地往下一沉,將整箱原料穩穩送入熾熱的爐膛。
刺目的火光瞬間噴涌而出,將整個車間的牆壁映得通紅。
程美麗站在三米外的爐溫控制面板前,身上披著一件寬鬆的白大褂。
滾燙的熱浪撲面而來。
她嫌棄地皺了皺鼻子,抬手往後撥了一下被汗水沾濕的額發。
陸川站在她右後側,單手捏著一塊用冷水浸過的乾淨毛巾,直接覆在她的後頸上。
冰涼的觸感透過皮膚傳開。
程美麗舒服地眯了一下眼睛,左腳往前踏出半步,目光鎖死在屏幕上。
黑底綠字的代碼瀑布般飛速滾動。
「偏高了。」
她吐出三個字。
沒有任何猶豫,程美麗雙手按上工業鍵盤,十指化作殘影,重重敲擊按鍵。
噠噠噠!
底層控溫代碼被她強行覆寫。
「咔!」
回車鍵被一指按下。
提純爐內部發出「嘶」的一聲劇烈泄壓聲。
狂暴的火光肉眼可見地暗了一個色號。
熔煉的極限溫度曲線,被她用一段強行插入的指令,硬生生往下壓了十五度。
車間裡幾名監測數據的技術員呼吸一滯,連大氣都不敢喘。
「穩住了!」
有人壓低嗓音喊了一聲。
程美麗離開控制台,從口袋裡摸出一顆薄荷糖剝開,塞進嘴裡。
她拉過一把摺疊椅坐下,翹起二郎腿,目光盯著提純爐的方向。
三小時後。
轟鳴聲逐漸減弱。
咔噠!
提純爐底部的出料口在液壓杆的推動下,緩緩向兩側滑開。
白色的高溫蒸汽貼著地面瘋狂溢出。
牽引底座開始向上拉升。
一根通體泛著銀灰色冷光的高純度單晶矽棒,順著牽引杆被一點點拉制出來。
矽棒表面平滑得不帶一絲紋理,在車間頂燈的照射下,折射出冷硬刺骨的金屬光澤。
「出爐了!」
技術組長戴著隔熱手套,快步衝上前。
他拿起切割電鋸,對準矽棒尾端狠狠切下。
火星四濺!
一塊銀幣大小的矽棒切片掉落在托盤裡。
技術組長用醫用長鑷夾起切片,一路小跑沖向操作台,將其送入高精度質譜儀的檢測艙。
滴!
掃描紅光亮起。
整個車間靜得只能聽見質譜儀機箱散熱風扇的轉動聲。
所有人的視線死死釘在上方懸掛的電子投屏上。
滴——滴滴!
檢測結果瞬間躍上大屏。
99.999999%。
一串刺眼的綠色數字。
八個九。
李副部長站在人群最前面,眼珠子幾乎要瞪出眼眶,雙手死死攥住前排的欄杆。
「成了!」
他猛地一拍大腿,仰起頭放聲大笑。
笑聲震得頭頂的白熾燈都在晃。
車間內的專家與工人們愣了一秒,隨即將手裡的圖紙和手套高高拋向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聾的歡呼聲瞬間掀翻了車間的屋頂。
程美麗坐在椅子上,被這沖天的嗓門吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴裡的薄荷糖,沒好氣地白了李副部長一眼。
「嚎什麼。」
「提純只是第一步,切不出來薄片,這矽棒就是根燒火棍。」
歡呼聲戛然而止。
李副部長搓了搓通紅的臉頰,立刻朝後招手。
「上切割機!快!」
吊車緩緩移動,將那根沉重的單晶矽棒穩穩吊起,推入一旁的金剛石線切割機艙內。
卡扣鎖死。
滋——!
高壓冷凍液噴涌而出,化作白色的水霧罩住整個切割區。
金剛石線圈開始以肉眼難以捕捉的速度瘋狂運轉。
極細的切割線狠狠咬進矽棒表面,發出令人牙酸的撕裂聲。
金屬碎屑混著冷凍液,在防爆玻璃內壁上砸出一片泥濘。
十分鐘後。
切割聲停歇。
機艙門彈開。
第一批標準八英寸晶圓被機械抓手切下,整整齊齊地碼放在無塵操作台的托盤內。
每一片都薄如蟬翼,表面光潔如鏡,倒映著車間刺眼的白光。
程美麗站起身,走到無塵操作台前。
她沒有戴手套,而是直接用一把定製的防靜電竹鑷,捏起一片剛切好的晶圓。
薄薄的矽片在她指尖轉了半個圈。
她將其平放在高倍電子顯微鏡的載物台上,低頭湊近目鏡。
右側的旋鈕被她快速擰動,焦距在一瞬間鎖定。
顯微鏡下的視場裡,晶圓表面的微觀結構暴露無遺。
程美麗看了一眼,眉頭立刻擰成了一個死結。
她直起身,把竹鑷往托盤裡重重一扔。
啪!
「廢品。」
兩個字,輕飄飄地砸在操作台上。
周圍剛準備鼓掌的技術員們集體僵住,臉上的喜色瞬間凝固。
李副部長急忙湊上來,聲音發緊。
「程工,哪裡不對?」
「平整度。」
程美麗指著托盤裡的那堆晶圓,語氣冷得掉冰渣。
「你們現在用的塗層工藝,藥液分布存在明顯的厚度落差。」
她豎起一根手指。
「0.1微米的平整度誤差。」
「這種表面,只要上了光刻機,光線一照就會產生衍射畸變。」
「刻出來的電路不僅會短路,還會直接燒穿底板。」
幾個核心工程師臉色煞白,後背冒出一層冷汗。
0.1微米的誤差,在他們現有的認知里,已經是極限的極限。
「這……」
一名老工程師咽了一口唾沫。
「程工,咱們現有的光刻膠配方粘稠度太高,旋塗機根本甩不平這0.1微米啊。」
「甩不平就換配方。」
程美麗沒理會他們的難處,雙手揣進白大褂的口袋裡,閉上了眼睛。
意識深處,系統面板瞬間亮起。
她點開跨時代物資商城的檢索欄。
【搜索指令:極紫外光刻膠配方圖譜。】
金色的商品圖標在面板中央緩緩浮現,帶著一股不可侵犯的科技威壓。
【叮!兌換確認。】
【該圖譜為跨時代機密技術,將扣除宿主五萬點作精值。】
程美麗的指尖在虛空中毫不猶豫地按下確認鍵。
【作精值已扣除,當前餘額:93180點。】
【下一代極紫外光刻膠合成配方圖譜,已自動生成於隨身空間。】
她睜開眼,長長的睫毛在白熾燈下投下一片陰影。
程美麗偏過頭,看了一眼身側的陸川。
她嘴角微翹,指尖在金屬操作台上不緊不慢地敲了兩下。
絕密車間厚重的防爆門後,卻翻滾著另一股足以熔穿鋼鐵的熱浪。
轟——嗡嗡嗡!
單晶矽提純設備在車間正中央發出低沉的運轉轟鳴,連帶著腳下的水泥地面都在微微發顫。
龐大的機械臂凌空探出,鋼鐵關節摩擦出刺耳的銳響。
機械爪死死鉗住第一批高純度多晶矽原料,精準地移向提純爐上方。
哐當!
厚重的爐蓋向兩側滑開。
機械臂猛地往下一沉,將整箱原料穩穩送入熾熱的爐膛。
刺目的火光瞬間噴涌而出,將整個車間的牆壁映得通紅。
程美麗站在三米外的爐溫控制面板前,身上披著一件寬鬆的白大褂。
滾燙的熱浪撲面而來。
她嫌棄地皺了皺鼻子,抬手往後撥了一下被汗水沾濕的額發。
陸川站在她右後側,單手捏著一塊用冷水浸過的乾淨毛巾,直接覆在她的後頸上。
冰涼的觸感透過皮膚傳開。
程美麗舒服地眯了一下眼睛,左腳往前踏出半步,目光鎖死在屏幕上。
黑底綠字的代碼瀑布般飛速滾動。
「偏高了。」
她吐出三個字。
沒有任何猶豫,程美麗雙手按上工業鍵盤,十指化作殘影,重重敲擊按鍵。
噠噠噠!
底層控溫代碼被她強行覆寫。
「咔!」
回車鍵被一指按下。
提純爐內部發出「嘶」的一聲劇烈泄壓聲。
狂暴的火光肉眼可見地暗了一個色號。
熔煉的極限溫度曲線,被她用一段強行插入的指令,硬生生往下壓了十五度。
車間裡幾名監測數據的技術員呼吸一滯,連大氣都不敢喘。
「穩住了!」
有人壓低嗓音喊了一聲。
程美麗離開控制台,從口袋裡摸出一顆薄荷糖剝開,塞進嘴裡。
她拉過一把摺疊椅坐下,翹起二郎腿,目光盯著提純爐的方向。
三小時後。
轟鳴聲逐漸減弱。
咔噠!
提純爐底部的出料口在液壓杆的推動下,緩緩向兩側滑開。
白色的高溫蒸汽貼著地面瘋狂溢出。
牽引底座開始向上拉升。
一根通體泛著銀灰色冷光的高純度單晶矽棒,順著牽引杆被一點點拉制出來。
矽棒表面平滑得不帶一絲紋理,在車間頂燈的照射下,折射出冷硬刺骨的金屬光澤。
「出爐了!」
技術組長戴著隔熱手套,快步衝上前。
他拿起切割電鋸,對準矽棒尾端狠狠切下。
火星四濺!
一塊銀幣大小的矽棒切片掉落在托盤裡。
技術組長用醫用長鑷夾起切片,一路小跑沖向操作台,將其送入高精度質譜儀的檢測艙。
滴!
掃描紅光亮起。
整個車間靜得只能聽見質譜儀機箱散熱風扇的轉動聲。
所有人的視線死死釘在上方懸掛的電子投屏上。
滴——滴滴!
檢測結果瞬間躍上大屏。
99.999999%。
一串刺眼的綠色數字。
八個九。
李副部長站在人群最前面,眼珠子幾乎要瞪出眼眶,雙手死死攥住前排的欄杆。
「成了!」
他猛地一拍大腿,仰起頭放聲大笑。
笑聲震得頭頂的白熾燈都在晃。
車間內的專家與工人們愣了一秒,隨即將手裡的圖紙和手套高高拋向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聾的歡呼聲瞬間掀翻了車間的屋頂。
程美麗坐在椅子上,被這沖天的嗓門吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴裡的薄荷糖,沒好氣地白了李副部長一眼。
「嚎什麼。」
「提純只是第一步,切不出來薄片,這矽棒就是根燒火棍。」
歡呼聲戛然而止。
李副部長搓了搓通紅的臉頰,立刻朝後招手。
「上切割機!快!」
吊車緩緩移動,將那根沉重的單晶矽棒穩穩吊起,推入一旁的金剛石線切割機艙內。
卡扣鎖死。
滋——!
高壓冷凍液噴涌而出,化作白色的水霧罩住整個切割區。
金剛石線圈開始以肉眼難以捕捉的速度瘋狂運轉。
極細的切割線狠狠咬進矽棒表面,發出令人牙酸的撕裂聲。
金屬碎屑混著冷凍液,在防爆玻璃內壁上砸出一片泥濘。
十分鐘後。
切割聲停歇。
機艙門彈開。
第一批標準八英寸晶圓被機械抓手切下,整整齊齊地碼放在無塵操作台的托盤內。
每一片都薄如蟬翼,表面光潔如鏡,倒映著車間刺眼的白光。
程美麗站起身,走到無塵操作台前。
她沒有戴手套,而是直接用一把定製的防靜電竹鑷,捏起一片剛切好的晶圓。
薄薄的矽片在她指尖轉了半個圈。
她將其平放在高倍電子顯微鏡的載物台上,低頭湊近目鏡。
右側的旋鈕被她快速擰動,焦距在一瞬間鎖定。
顯微鏡下的視場裡,晶圓表面的微觀結構暴露無遺。
程美麗看了一眼,眉頭立刻擰成了一個死結。
她直起身,把竹鑷往托盤裡重重一扔。
啪!
「廢品。」
兩個字,輕飄飄地砸在操作台上。
周圍剛準備鼓掌的技術員們集體僵住,臉上的喜色瞬間凝固。
李副部長急忙湊上來,聲音發緊。
「程工,哪裡不對?」
「平整度。」
程美麗指著托盤裡的那堆晶圓,語氣冷得掉冰渣。
「你們現在用的塗層工藝,藥液分布存在明顯的厚度落差。」
她豎起一根手指。
「0.1微米的平整度誤差。」
「這種表面,只要上了光刻機,光線一照就會產生衍射畸變。」
「刻出來的電路不僅會短路,還會直接燒穿底板。」
幾個核心工程師臉色煞白,後背冒出一層冷汗。
0.1微米的誤差,在他們現有的認知里,已經是極限的極限。
「這……」
一名老工程師咽了一口唾沫。
「程工,咱們現有的光刻膠配方粘稠度太高,旋塗機根本甩不平這0.1微米啊。」
「甩不平就換配方。」
程美麗沒理會他們的難處,雙手揣進白大褂的口袋裡,閉上了眼睛。
意識深處,系統面板瞬間亮起。
她點開跨時代物資商城的檢索欄。
【搜索指令:極紫外光刻膠配方圖譜。】
金色的商品圖標在面板中央緩緩浮現,帶著一股不可侵犯的科技威壓。
【叮!兌換確認。】
【該圖譜為跨時代機密技術,將扣除宿主五萬點作精值。】
程美麗的指尖在虛空中毫不猶豫地按下確認鍵。
【作精值已扣除,當前餘額:93180點。】
【下一代極紫外光刻膠合成配方圖譜,已自動生成於隨身空間。】
她睜開眼,長長的睫毛在白熾燈下投下一片陰影。
程美麗偏過頭,看了一眼身側的陸川。
她嘴角微翹,指尖在金屬操作台上不緊不慢地敲了兩下。