第287章 因為她看見了
【29秒。】
【28秒。】
兩名特衛拖著老顧問就往外拽。
老顧問還在狂笑,鞋底蹭著地面,發出刺耳的摩擦聲。
「沒用!」
「你們贏不了!」
「那道光根本聚不住!」
陸川一步橫出,擋在主控台側後方。
黑沉沉的槍口微垂。
目光卻冷得像刀。
程美麗沒看他,也沒看那條被拖遠的瘋狗。
她直接走上主控台。
金屬踏板被高跟鞋踩出兩聲脆響。
啪!
她一把掀開主控台防塵罩,雙手按住啟動面板。
「光源,全開。」
【27秒。】
轟——!
極紫外光源的高壓放電發生器猛地咆哮。
巨大的電流沖入等離子激發艙。
刺眼的藍白色強光在艙內猛地炸開。
防爆玻璃外,所有人的臉都被那一瞬的強光照得發白。
嗡嗡嗡!
光刻機內部的冷卻泵、高壓電源、鏡頭組同步啟動,整台鋼鐵巨獸像是被點醒了。
「起光了!」
一名技術員失聲喊了出來。
大屏幕上,主光路追蹤圖瞬間亮起。
第一束極紫外強光穿過激發艙,狠狠撞向第一面非球面反射鏡。
下一秒。
紅色警示框猛地彈出。
滴滴滴滴!
「偏了!」
光路監測員臉色煞白,死死抓著操作台邊緣。
「主光束在二號反射面出現橫向偏折!」
「焦點鎖定失敗!」
大屏幕上,那道本該筆直前沖的高能光束,在鏡組中段出現了一個細微、卻足以致命的弧度。
肉眼幾乎看不見。
但在放大的光路圖裡,像一根骨頭生生錯了位。
「補償算法呢!」
李副部長扯著嗓子吼,聲音都劈了。
一名老專家站在副控台前,手指瘋狂敲擊鍵盤,冷汗順著下巴往下淌。
「算不過來!」
「國內現有算法模型吃不下這種納米級偏折!」
「算力不夠,鎖不住焦點!」
「繼續算下去,光源先廢!」
周圍幾名工程師的臉徹底白了。
千辛萬苦走到點火這一步。
結果還是被卡死在最後一口氣上。
顧不上旁人的反應,程美麗抬手按住主控台邊緣,眼神冷得嚇人。
「廢物。」
她吐出兩個字。
然後從白大褂口袋裡,摸出一隻銀灰色的金屬U盤。
這東西不大。
邊角卻泛著一種不屬於這個時代的冷硬光澤。
「你們算不動。」
「我來。」
啪!
U盤被她狠狠插進主控機接口。
【叮!】
【跨時代光學微調算法已接入。】
【平台微調開關,已同步解鎖。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
無數複雜到令人頭皮發麻的矩陣,像雪崩一樣鋪滿整個電子大屏。
一行。
十行。
百行!
綠色字符瘋狂滾動,速度快到所有人眼球發酸。
「這是什麼算法……」
一名院士級專家下意識往前走了半步,眼神都直了。
沒人回答他。
因為下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值開始瘋狂回落。
0.017。
0.011。
0.006!
原本那道出現弧度的極紫外光束,在鏡組畫面中,像是被一隻無形的大手硬生生掰直了。
「回來了!」
光路監測員猛地撲到屏幕前,聲音都破了。
「主光束重回中軸線!」
「二號鏡、三號鏡反射面全部歸正!」
「焦點開始鎖定!」
程美麗站在主控台前,十指壓上工業鍵盤。
噠噠噠!
她沒有停。
U盤算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微調指令,被她直接灌進鏡組平台底層。
「一號鏡,左偏補償0.003。」
「三號鏡,抬高。」
「五號鏡,鎖死。」
「看掩膜版。」
她聲音不大。
卻像一把冰冷的錘子,砸進每個人耳朵里。
操作員猛地回神,撲向副屏。
畫面切換。
那道被強行歸正的極紫外光束,穿透複雜到令人窒息的鏡頭群,最終精準轟擊在掩膜版之上。
嗤!
一聲極輕的灼響。
光,咬住了。
「聚焦成功!」
「主焦點鎖定成功!」
會場裡先是一靜。
緊接著。
轟!
整個主控區像炸了一樣。
「成了!」
「真的聚住了!」
「曝光!快上曝光程序!」
程美麗一掌拍下執行鍵。
啪!
晶圓工件台開始高速平移。
塗滿極紫外光刻膠的八英寸晶圓,在真空吸附台上穩穩前送。
那束殺穿所有封鎖的極紫外光,透過掩膜版,在晶圓表面留下一道又一道肉眼不可見的微觀刻痕。
全場沒人再說話。
只剩設備運轉的低沉轟鳴。
還有眾人壓得發疼的呼吸。
三分鐘後。
滴!
曝光結束。
晶圓被機械抓手緩緩送出,推入顯影清洗區。
化學顯影液如細雨般淋下。
沖洗。
定型。
白色水霧彌散在玻璃罩內,遮得人眼前發白。
「出來了。」
程美麗開口。
機械抓手應聲探出,將首片曝光後的晶圓平穩夾起,送向最高精度電子顯微鏡平台。
李副部長站在顯微鏡前,手都不知道該往哪放。
一名院士死死抓著自己的老花鏡,指節泛白。
程美麗走過去,親手轉動焦距旋鈕。
咔。
目鏡鎖定。
她低頭看了一眼。
沒說話。
直接抬手把顯微鏡畫面投上了主屏。
嗡!
巨幕亮起。
一片安靜得近乎完美的微觀世界,瞬間鋪滿全場視野。
晶格。
線路。
一道道細密到讓人頭皮發麻的電路紋路,整整齊齊排布在矽片之上。
每一條邊緣都鋒利。
每一個拐角都乾淨。
沒有塌陷。
沒有毛刺。
沒有任何因為失焦帶來的燒灼和畸變。
主屏右上角,自動檢測數值緩緩跳出。
0.5微米。
李副部長盯著那串數字,整個人像是被雷劈中了。
「零點……五……」
他張了張嘴,聲音卻卡在嗓子裡。
下一秒。
他猛地抬起手,死死捂住自己的臉。
肩膀劇烈發抖。
「成了……」
「成了啊!」
這聲吼出來的時候,整個車間徹底炸了。
歡呼聲。
拍桌聲。
金屬欄杆被砸得咣咣作響。
兩名頭髮花白的院士當場紅了眼,摘下眼鏡抹臉,動作都在抖。
其餘人的反應徹底失控,幾個人抱在一起,幾個人高高舉起圖紙,像瘋了一樣吼。
但這些聲音,都被程美麗扔在了身後。
她站在大屏前,盯著那片0.5微米的完美晶格,眼神卻沒有松下來。
因為她看見了。
在主屏最下方,一塊被自動放大的微觀區域裡。
某一道細密電路的邊緣,正浮起一小片不正常的暗紅色熱斑。
不大。
只有針尖那麼一點。
卻像一根細針,刺進了她的眼底。
她沒有出聲。
只是抬起手,用指尖輕輕敲了兩下冰冷的顯微鏡外殼。
篤。
篤。
主屏右下角的工藝流程時間提示,還在冷冰冰地跳。
距離晶片蝕刻工序開始。
還剩2小時。
【28秒。】
兩名特衛拖著老顧問就往外拽。
老顧問還在狂笑,鞋底蹭著地面,發出刺耳的摩擦聲。
「沒用!」
「你們贏不了!」
「那道光根本聚不住!」
陸川一步橫出,擋在主控台側後方。
黑沉沉的槍口微垂。
目光卻冷得像刀。
程美麗沒看他,也沒看那條被拖遠的瘋狗。
她直接走上主控台。
金屬踏板被高跟鞋踩出兩聲脆響。
啪!
她一把掀開主控台防塵罩,雙手按住啟動面板。
「光源,全開。」
【27秒。】
轟——!
極紫外光源的高壓放電發生器猛地咆哮。
巨大的電流沖入等離子激發艙。
刺眼的藍白色強光在艙內猛地炸開。
防爆玻璃外,所有人的臉都被那一瞬的強光照得發白。
嗡嗡嗡!
光刻機內部的冷卻泵、高壓電源、鏡頭組同步啟動,整台鋼鐵巨獸像是被點醒了。
「起光了!」
一名技術員失聲喊了出來。
大屏幕上,主光路追蹤圖瞬間亮起。
第一束極紫外強光穿過激發艙,狠狠撞向第一面非球面反射鏡。
下一秒。
紅色警示框猛地彈出。
滴滴滴滴!
「偏了!」
光路監測員臉色煞白,死死抓著操作台邊緣。
「主光束在二號反射面出現橫向偏折!」
「焦點鎖定失敗!」
大屏幕上,那道本該筆直前沖的高能光束,在鏡組中段出現了一個細微、卻足以致命的弧度。
肉眼幾乎看不見。
但在放大的光路圖裡,像一根骨頭生生錯了位。
「補償算法呢!」
李副部長扯著嗓子吼,聲音都劈了。
一名老專家站在副控台前,手指瘋狂敲擊鍵盤,冷汗順著下巴往下淌。
「算不過來!」
「國內現有算法模型吃不下這種納米級偏折!」
「算力不夠,鎖不住焦點!」
「繼續算下去,光源先廢!」
周圍幾名工程師的臉徹底白了。
千辛萬苦走到點火這一步。
結果還是被卡死在最後一口氣上。
顧不上旁人的反應,程美麗抬手按住主控台邊緣,眼神冷得嚇人。
「廢物。」
她吐出兩個字。
然後從白大褂口袋裡,摸出一隻銀灰色的金屬U盤。
這東西不大。
邊角卻泛著一種不屬於這個時代的冷硬光澤。
「你們算不動。」
「我來。」
啪!
U盤被她狠狠插進主控機接口。
【叮!】
【跨時代光學微調算法已接入。】
【平台微調開關,已同步解鎖。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
無數複雜到令人頭皮發麻的矩陣,像雪崩一樣鋪滿整個電子大屏。
一行。
十行。
百行!
綠色字符瘋狂滾動,速度快到所有人眼球發酸。
「這是什麼算法……」
一名院士級專家下意識往前走了半步,眼神都直了。
沒人回答他。
因為下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值開始瘋狂回落。
0.017。
0.011。
0.006!
原本那道出現弧度的極紫外光束,在鏡組畫面中,像是被一隻無形的大手硬生生掰直了。
「回來了!」
光路監測員猛地撲到屏幕前,聲音都破了。
「主光束重回中軸線!」
「二號鏡、三號鏡反射面全部歸正!」
「焦點開始鎖定!」
程美麗站在主控台前,十指壓上工業鍵盤。
噠噠噠!
她沒有停。
U盤算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微調指令,被她直接灌進鏡組平台底層。
「一號鏡,左偏補償0.003。」
「三號鏡,抬高。」
「五號鏡,鎖死。」
「看掩膜版。」
她聲音不大。
卻像一把冰冷的錘子,砸進每個人耳朵里。
操作員猛地回神,撲向副屏。
畫面切換。
那道被強行歸正的極紫外光束,穿透複雜到令人窒息的鏡頭群,最終精準轟擊在掩膜版之上。
嗤!
一聲極輕的灼響。
光,咬住了。
「聚焦成功!」
「主焦點鎖定成功!」
會場裡先是一靜。
緊接著。
轟!
整個主控區像炸了一樣。
「成了!」
「真的聚住了!」
「曝光!快上曝光程序!」
程美麗一掌拍下執行鍵。
啪!
晶圓工件台開始高速平移。
塗滿極紫外光刻膠的八英寸晶圓,在真空吸附台上穩穩前送。
那束殺穿所有封鎖的極紫外光,透過掩膜版,在晶圓表面留下一道又一道肉眼不可見的微觀刻痕。
全場沒人再說話。
只剩設備運轉的低沉轟鳴。
還有眾人壓得發疼的呼吸。
三分鐘後。
滴!
曝光結束。
晶圓被機械抓手緩緩送出,推入顯影清洗區。
化學顯影液如細雨般淋下。
沖洗。
定型。
白色水霧彌散在玻璃罩內,遮得人眼前發白。
「出來了。」
程美麗開口。
機械抓手應聲探出,將首片曝光後的晶圓平穩夾起,送向最高精度電子顯微鏡平台。
李副部長站在顯微鏡前,手都不知道該往哪放。
一名院士死死抓著自己的老花鏡,指節泛白。
程美麗走過去,親手轉動焦距旋鈕。
咔。
目鏡鎖定。
她低頭看了一眼。
沒說話。
直接抬手把顯微鏡畫面投上了主屏。
嗡!
巨幕亮起。
一片安靜得近乎完美的微觀世界,瞬間鋪滿全場視野。
晶格。
線路。
一道道細密到讓人頭皮發麻的電路紋路,整整齊齊排布在矽片之上。
每一條邊緣都鋒利。
每一個拐角都乾淨。
沒有塌陷。
沒有毛刺。
沒有任何因為失焦帶來的燒灼和畸變。
主屏右上角,自動檢測數值緩緩跳出。
0.5微米。
李副部長盯著那串數字,整個人像是被雷劈中了。
「零點……五……」
他張了張嘴,聲音卻卡在嗓子裡。
下一秒。
他猛地抬起手,死死捂住自己的臉。
肩膀劇烈發抖。
「成了……」
「成了啊!」
這聲吼出來的時候,整個車間徹底炸了。
歡呼聲。
拍桌聲。
金屬欄杆被砸得咣咣作響。
兩名頭髮花白的院士當場紅了眼,摘下眼鏡抹臉,動作都在抖。
其餘人的反應徹底失控,幾個人抱在一起,幾個人高高舉起圖紙,像瘋了一樣吼。
但這些聲音,都被程美麗扔在了身後。
她站在大屏前,盯著那片0.5微米的完美晶格,眼神卻沒有松下來。
因為她看見了。
在主屏最下方,一塊被自動放大的微觀區域裡。
某一道細密電路的邊緣,正浮起一小片不正常的暗紅色熱斑。
不大。
只有針尖那麼一點。
卻像一根細針,刺進了她的眼底。
她沒有出聲。
只是抬起手,用指尖輕輕敲了兩下冰冷的顯微鏡外殼。
篤。
篤。
主屏右下角的工藝流程時間提示,還在冷冰冰地跳。
距離晶片蝕刻工序開始。
還剩2小時。