第1161章 鍍膜卡關！自研破壟斷
反射鏡基材的超精密加工和複雜多層鍍膜的難題，猶如兩座必須翻越的冰山。
蘇定平深深明白，即便龍心實驗室掌握了核心工藝，也沒有必要也沒有能力為這一個環節單獨建立一條大規模的生產線。
這太奢侈了！
拿著那份凝結了無數心血的離子束拋光新圖紙和ALD工藝手冊，以及幾塊剛剛在龍心試製線用新工藝做出來的、性能優異的試驗片，蘇定平帶著技術轉讓意向書，親自找上了龍夏部落負責光學元件頂尖研發的927研究所。
所長鄭玉，一個頭髮花白、眼神卻銳利如鷹的老研究員，親自在研究所門口迎接。
他知道蘇定平現在在做的事情，更清楚龍心實驗室目前頂著多大的壓力。
會議室內，蘇定平沒有客套，直接將圖紙和樣品推了過去。
「鄭所長，龍心實驗室在EUV光刻機反射鏡的超精密拋光和多層膜沉積上取得了一些突破，這是工藝圖紙和試驗樣品的數據報告。」
鄭玉一開始神情凝重。
他知道EUV反射鏡的要求有多變態。接過圖紙，戴上老花鏡，他只是看了第一頁核心工藝原理的總述部份，拿著圖紙的手就猛地一抖！眼神陡然銳利得像探照燈，死死盯著圖紙上「離子束原子級刻蝕」、「動態補償模型」的字眼和結構圖。
緊接著，目光又落在旁邊那份薄薄的ALD工藝優化綱要上。
「溫度場梯度驅動原子吸附」、「分子級脈衝閥門時序控制」……他的呼吸陡然變得粗重起來！
「這……這圖紙……」
鄭玉猛地抬起頭，眼神直勾勾盯著蘇定平，聲音帶著激動和難以置信的顫抖。
「蘇總工！你們……你們這是怎麼搞出來的？這思路……這工藝！完全是顛覆性的！跟我們研究所幾十年在光機研磨拋光的老路根本不是一個概念！還有這ALD工藝的改進點，簡直神了！」
他放下圖紙，幾乎是搶也似的抓過旁邊那幾塊小小的試驗鏡片，對著光仔細查看那光滑如無物般的表面。
「你們拋光的面型精度……」
「實測RM，首批試驗片全部在這個數值區間。」
蘇定平沉聲道。
鄭玉倒吸一口冷氣！
他又撲到一旁的檢測儀器前，不顧身份地親自操作，將一塊試驗片放入專用的光譜分析儀中。屏幕上立刻顯示出清晰無比的多層膜干涉條紋！薄膜的均勻性、層間的界限清晰度，都讓鄭玉的眼睛越瞪越大。
「老鄭？」
旁邊幾位副所長看他半天不說話，著急地催促。
鄭玉猛地站起身，轉過身，臉上因為激動漲得通紅，他用力拍著自己的大腿。
「好！好！太好了！蘇總工！了不起！太了不起了！」
他幾乎是吼出來的。
「這技術！
這精度！別說合格！
這已經比我們掌握的最機密資料里顯示的、那個A公司旗艦機上用的頂級反射鏡性能還要強！還要穩定！強一截！」
他一把抓住蘇定平的手，握得死緊。
「蘇總工！
這份圖紙和技術，我們927所，全力配合！我們有全國最好的光學冷加工基地，有最成熟的光學薄膜鍍膜產線技術骨幹！我敢立軍令狀！
就憑這張圖，這份工藝，我們不但能給你穩定量產符合要求的EUV光刻機用反射鏡，而且性能，絕對能壓A一頭！徹底打破他們在這塊鐵桶般的壟斷牆！」
蘇定平感受著手臂上傳來的巨大力量，看著眼前這位激動得語無倫次的老專家眼中爆發出的熾熱光芒，心中懸著的一塊巨石終於落下一半。
「那就拜託鄭所長了！時間緊！需要哪方面的協同實驗，龍心團隊全力配合！」
「沒問題！」
鄭玉拍著胸脯。
「你這份圖紙和工藝一到，就是我們全所的衝鋒號！」
幾個月後，第一批完全由龍夏部落自主設計、自主工藝、927研究所獨家生產的EUV極紫外光刻機專用多層膜反射鏡系統，在嚴格的外部第三方檢測實驗室里完成了最終的性能測試。
當報告送達龍心實驗室高層和蘇定平的案頭時，所有人看到那醒目的結論——「核心面型精度RMS誤差。
≤0.08nm；薄膜層厚均勻度誤差。
≤0.09nm；綜合光轉化效率與穩定性全面超越對標樣品」。
這一刻，沒人歡呼雀躍，反而是一陣死一般的寂靜。
袁濤看著報告上那令人眩暈的數據對比，嘴唇微微翕動了幾下，最終只發出幾個嘶啞的音節。
「成了……真他娘的……干成了！」
A那曾經被視為無法逾越的、用無數專利和百年技術積纍堆砌而成的高聳城牆反射鏡壁壘上，硬生生被砸出了一個巨大的缺口！
蘇定平重重地靠倒在椅背上，仰頭看著天花板刺眼的日光燈。
連日來的疲憊如同潮水般湧上，伴隨著巨大的、難以言喻的成就感。光源、反射鏡……EUV光刻機這座堡壘最堅硬的幾個內核，正在一個接一個地被龍夏部落的工匠撬開！
「終於……邁出了實質性的一大步。」
他閉上眼，輕聲說道。
然而，短暫的喘息只在一瞬。下一個巨大陰影已經撲面而來。
寬敞但氣氛壓抑的EUV組裝預研車間裡，碩大的真空系統框架已經初具輪廓。
蘇定平、袁濤等人站在巨大的設計面板前，目光聚焦在面板中央那兩個至關重要的核心組件圖標上——供件台和掩模台。
「定平。」
袁濤的聲音透著前所未有的凝重。
「這兩個台子，說白了，就是把那指甲蓋大小的矽晶片和大尺寸掩模版，以納米級的精度，在三維空間裡精確對位和快速移動的兩隻手。」
他抬起手，指尖指著面板上的技術指標，那數字觸目驚心。
「移動速度要達到每秒數米以上！」
「移動精度要控制在小於3納米以內！」
「這相當於在一萬米外投籃球，誤差不能超過一根頭髮的直徑！」
「更要命的是。」
袁濤加重了語氣，指著旁邊巨大的真空腔體框架。
「這一切，都要在比地球表面最乾淨的地方還要乾淨千萬倍的超真空環境裡完成！普通的機械軸承在那種環境下，連動都動不了幾下，更別說納米級的精度了！摩擦、潤滑、防震、熱量控制……全是死結！」
陳工在一旁補充，臉色也很難看。
「還有位置反饋系統，解析度要達到亞納米級別！現有的雷射干涉儀技術，在常溫大氣中都很難穩定達到這個量級，更別說在真空里還要抵抗各種難以預計的微擾動……」
「也就是說，支撐這兩個台子運動的核心——精密軸承系統，要求能在超高真空、零潤滑、極高速度、極強動力學負載、極低熱變形……這一大堆地獄級條件下，還能穩定地實現納米級的定位精度和重複定位精度……」
另一位負責機械系統的工程師幾乎是呻吟出來。
「這……簡直是機械工程的珠穆朗瑪峰！比反射鏡只難不易！」
辦公室里一片死寂。
這確實是當前擺在面前的最硬的骨頭之一！比多層膜反射鏡更需要整個國家精密製造工業體系的支撐！
「我看了資料。」
袁濤再次打破沉默，語氣冰冷得如同北極寒風。
「能滿足這些要求的……無論是超精密磁懸浮軸承系統、氣浮導軌軸承還是基於壓電陶瓷的納米定位平台的核心技術和關鍵部件……幾乎全被東荒部落的東瀛精機和維京部落的幾家公司壟斷！而且……」
他頓了頓，一字一句道。
「根據最新情報和我們採購部門的確認反饋，這類涉及最尖端光刻技術的核心運動部件及技術，已經正式被列入對我們部落的最高級別禁運清單！連根毛都別想買到了！」
又是一條絕路！
一條比反射鏡更為艱難百倍的絕路！引進的大門被徹底焊死、澆鑄成了鐵桶！
蘇定平的目光緊緊鎖定著設計板上那兩個刺目的組件框圖，仿佛要將它們燒穿。資金的壓力、時間的緊迫、外界無數目光的灼熱與審視……一股沉重的洪流再次壓向他的心臟和每一個毛孔。
「只能自己造！」
他猛地抬起眼，聲音不高，卻帶著不容置疑的決絕，像鑿子釘進花崗岩。
「通知一體化軍工廠那邊，暫停原來的任務序列！最高優先級！」
他走到堆滿圖紙的大桌子前，一把扯開上面覆蓋的保護膜，露出下面早已鋪開、標註了大量複雜符號和線條的原始設計圖。
「老袁，你們集中力量，協助我完成對工作檯運動系統核心基礎設計的深度優化！我需要你們解決系統動力學和磁路設計的關鍵理論問題！」
「陳工！」
蘇定平轉向另一位。
「立刻帶人，按照我們優化後的設計圖紙，給我搭建一個……最接近未來工況的超真空動態測試樣艙！不需要多大，但要能在裡面進行核心運動部件的真空環境動態模擬測試！速度，越快越好！我需要驗證所有理論模型的邊界！錢……」
他咬了咬牙。
「繼續燃燒也要保證投入！」
「至於那些精密軸承……無論是超精密磁懸浮的磁極與線圈、氣浮軸承的微孔節流結構、還是壓電納米驅動器的核心材料與驅動晶片……」
他手指重重地點在圖紙上幾個用紅圈標註的關鍵點上。
「設計圖，我可以根據理論一步步搞出來！但製造！製造只能靠我們自己的廠子！
一體化工廠那邊，告訴他們，別指望買國外的儀器加工！就用我們自己能搞到的最強的加工中心！用鐠工！用最老道的八級工！用最原始的車銑刨磨！
也要給我把設計圖上，標著紅圈、精度要求在0.1微米甚至10納米級別的核心部件的毛坯，一個零件一個零件地硬啃出來！沒有條件，創造條件也要上！告訴他們，這是死命令！」
蘇定平的聲音在試驗車間裡迴蕩，帶著一種近乎悲壯的豪氣。
「材料！工藝！檢測！裝配！任何一個環節，都不允許掉鏈子！我們就在這圖紙上，在這工廠里，在這真空艙里，把這根骨頭給我啃下來！」
世界的另一頭，富庶的白鷹宮殿裡，氣氛同樣壓抑。
大酋長的辦公室里，昂貴的裝飾品絲毫不能緩解主人的壞脾氣。菸灰缸里塞滿了雪茄頭。
他又一次狠狠地按斷了桌上那部加密紅色電話——聽筒里傳來的依舊是刺耳又綿長的忙音。
「阿三！阿三王這個該死的混蛋！」
大酋長臉色鐵青，如同暴風雨前陰沉的天空。
「兩百億！整整兩百億的前期合作經費，就換來一堆廢料數據和一堆正在努力的空頭承諾！連我的電話都敢不接了？他以為他躲得掉？」
他像一頭被徹底激怒的雄獅，在厚厚的地毯上來回踱步。
旁邊最得力的幕僚，一個永遠面無表情、眼神卻透出精明的鷹鉤鼻男子，低聲建議道。
「酋長閣下，阿三部落最近尾巴翹得太高了。
他們覺得自己翅膀硬了，是時候……給它一點小小的教訓了。
讓它明白，在這個世界秩序里，誰才是真正的掌舵人。」
「教訓？怎麼教訓？我們在那邊可沒有直接的駐軍！」
大酋長煩躁地揮手。
「不需要我們親自動手。」
幕僚嘴角勾起一絲冷酷的弧度。
「非洲大陸上那麼多部落，有的是急於尋求朋友和資源的。
只需要一個合適的點，一個恰當的藉口，再加上……一點點微不足道的，恰好能激怒阿三王的助力……」
幾天後，幾架小型運輸機悄無聲息地降落在靠近阿三部落西北部邊境的另一個內陸小國——丹佛部落一處荒廢的軍用機場跑道上。飛機里沒有白鷹部落的軍事教官，但堆滿了散發著濃重機油味的全新單兵武器彈藥箱。
突擊步槍、機槍、火箭筒、迫擊炮……成色嶄新，足夠武裝起一個加強連。
幾名身著便裝、聲稱是「國際友好人士」的白鷹特使，在簡單的交接後，對著接收的丹佛部落一個小軍閥意味深長地說了一句。(本章完)
蘇定平深深明白，即便龍心實驗室掌握了核心工藝，也沒有必要也沒有能力為這一個環節單獨建立一條大規模的生產線。
這太奢侈了！
拿著那份凝結了無數心血的離子束拋光新圖紙和ALD工藝手冊，以及幾塊剛剛在龍心試製線用新工藝做出來的、性能優異的試驗片，蘇定平帶著技術轉讓意向書，親自找上了龍夏部落負責光學元件頂尖研發的927研究所。
所長鄭玉，一個頭髮花白、眼神卻銳利如鷹的老研究員，親自在研究所門口迎接。
他知道蘇定平現在在做的事情，更清楚龍心實驗室目前頂著多大的壓力。
會議室內，蘇定平沒有客套，直接將圖紙和樣品推了過去。
「鄭所長，龍心實驗室在EUV光刻機反射鏡的超精密拋光和多層膜沉積上取得了一些突破，這是工藝圖紙和試驗樣品的數據報告。」
鄭玉一開始神情凝重。
他知道EUV反射鏡的要求有多變態。接過圖紙，戴上老花鏡，他只是看了第一頁核心工藝原理的總述部份，拿著圖紙的手就猛地一抖！眼神陡然銳利得像探照燈，死死盯著圖紙上「離子束原子級刻蝕」、「動態補償模型」的字眼和結構圖。
緊接著，目光又落在旁邊那份薄薄的ALD工藝優化綱要上。
「溫度場梯度驅動原子吸附」、「分子級脈衝閥門時序控制」……他的呼吸陡然變得粗重起來！
「這……這圖紙……」
鄭玉猛地抬起頭，眼神直勾勾盯著蘇定平，聲音帶著激動和難以置信的顫抖。
「蘇總工！你們……你們這是怎麼搞出來的？這思路……這工藝！完全是顛覆性的！跟我們研究所幾十年在光機研磨拋光的老路根本不是一個概念！還有這ALD工藝的改進點，簡直神了！」
他放下圖紙，幾乎是搶也似的抓過旁邊那幾塊小小的試驗鏡片，對著光仔細查看那光滑如無物般的表面。
「你們拋光的面型精度……」
「實測RM，首批試驗片全部在這個數值區間。」
蘇定平沉聲道。
鄭玉倒吸一口冷氣！
他又撲到一旁的檢測儀器前，不顧身份地親自操作，將一塊試驗片放入專用的光譜分析儀中。屏幕上立刻顯示出清晰無比的多層膜干涉條紋！薄膜的均勻性、層間的界限清晰度，都讓鄭玉的眼睛越瞪越大。
「老鄭？」
旁邊幾位副所長看他半天不說話，著急地催促。
鄭玉猛地站起身，轉過身，臉上因為激動漲得通紅，他用力拍著自己的大腿。
「好！好！太好了！蘇總工！了不起！太了不起了！」
他幾乎是吼出來的。
「這技術！
這精度！別說合格！
這已經比我們掌握的最機密資料里顯示的、那個A公司旗艦機上用的頂級反射鏡性能還要強！還要穩定！強一截！」
他一把抓住蘇定平的手，握得死緊。
「蘇總工！
這份圖紙和技術，我們927所，全力配合！我們有全國最好的光學冷加工基地，有最成熟的光學薄膜鍍膜產線技術骨幹！我敢立軍令狀！
就憑這張圖，這份工藝，我們不但能給你穩定量產符合要求的EUV光刻機用反射鏡，而且性能，絕對能壓A一頭！徹底打破他們在這塊鐵桶般的壟斷牆！」
蘇定平感受著手臂上傳來的巨大力量，看著眼前這位激動得語無倫次的老專家眼中爆發出的熾熱光芒，心中懸著的一塊巨石終於落下一半。
「那就拜託鄭所長了！時間緊！需要哪方面的協同實驗，龍心團隊全力配合！」
「沒問題！」
鄭玉拍著胸脯。
「你這份圖紙和工藝一到，就是我們全所的衝鋒號！」
幾個月後，第一批完全由龍夏部落自主設計、自主工藝、927研究所獨家生產的EUV極紫外光刻機專用多層膜反射鏡系統，在嚴格的外部第三方檢測實驗室里完成了最終的性能測試。
當報告送達龍心實驗室高層和蘇定平的案頭時，所有人看到那醒目的結論——「核心面型精度RMS誤差。
≤0.08nm；薄膜層厚均勻度誤差。
≤0.09nm；綜合光轉化效率與穩定性全面超越對標樣品」。
這一刻，沒人歡呼雀躍，反而是一陣死一般的寂靜。
袁濤看著報告上那令人眩暈的數據對比，嘴唇微微翕動了幾下，最終只發出幾個嘶啞的音節。
「成了……真他娘的……干成了！」
A那曾經被視為無法逾越的、用無數專利和百年技術積纍堆砌而成的高聳城牆反射鏡壁壘上，硬生生被砸出了一個巨大的缺口！
蘇定平重重地靠倒在椅背上，仰頭看著天花板刺眼的日光燈。
連日來的疲憊如同潮水般湧上，伴隨著巨大的、難以言喻的成就感。光源、反射鏡……EUV光刻機這座堡壘最堅硬的幾個內核，正在一個接一個地被龍夏部落的工匠撬開！
「終於……邁出了實質性的一大步。」
他閉上眼，輕聲說道。
然而，短暫的喘息只在一瞬。下一個巨大陰影已經撲面而來。
寬敞但氣氛壓抑的EUV組裝預研車間裡，碩大的真空系統框架已經初具輪廓。
蘇定平、袁濤等人站在巨大的設計面板前，目光聚焦在面板中央那兩個至關重要的核心組件圖標上——供件台和掩模台。
「定平。」
袁濤的聲音透著前所未有的凝重。
「這兩個台子，說白了，就是把那指甲蓋大小的矽晶片和大尺寸掩模版，以納米級的精度，在三維空間裡精確對位和快速移動的兩隻手。」
他抬起手，指尖指著面板上的技術指標，那數字觸目驚心。
「移動速度要達到每秒數米以上！」
「移動精度要控制在小於3納米以內！」
「這相當於在一萬米外投籃球，誤差不能超過一根頭髮的直徑！」
「更要命的是。」
袁濤加重了語氣，指著旁邊巨大的真空腔體框架。
「這一切，都要在比地球表面最乾淨的地方還要乾淨千萬倍的超真空環境裡完成！普通的機械軸承在那種環境下，連動都動不了幾下，更別說納米級的精度了！摩擦、潤滑、防震、熱量控制……全是死結！」
陳工在一旁補充，臉色也很難看。
「還有位置反饋系統，解析度要達到亞納米級別！現有的雷射干涉儀技術，在常溫大氣中都很難穩定達到這個量級，更別說在真空里還要抵抗各種難以預計的微擾動……」
「也就是說，支撐這兩個台子運動的核心——精密軸承系統，要求能在超高真空、零潤滑、極高速度、極強動力學負載、極低熱變形……這一大堆地獄級條件下，還能穩定地實現納米級的定位精度和重複定位精度……」
另一位負責機械系統的工程師幾乎是呻吟出來。
「這……簡直是機械工程的珠穆朗瑪峰！比反射鏡只難不易！」
辦公室里一片死寂。
這確實是當前擺在面前的最硬的骨頭之一！比多層膜反射鏡更需要整個國家精密製造工業體系的支撐！
「我看了資料。」
袁濤再次打破沉默，語氣冰冷得如同北極寒風。
「能滿足這些要求的……無論是超精密磁懸浮軸承系統、氣浮導軌軸承還是基於壓電陶瓷的納米定位平台的核心技術和關鍵部件……幾乎全被東荒部落的東瀛精機和維京部落的幾家公司壟斷！而且……」
他頓了頓，一字一句道。
「根據最新情報和我們採購部門的確認反饋，這類涉及最尖端光刻技術的核心運動部件及技術，已經正式被列入對我們部落的最高級別禁運清單！連根毛都別想買到了！」
又是一條絕路！
一條比反射鏡更為艱難百倍的絕路！引進的大門被徹底焊死、澆鑄成了鐵桶！
蘇定平的目光緊緊鎖定著設計板上那兩個刺目的組件框圖，仿佛要將它們燒穿。資金的壓力、時間的緊迫、外界無數目光的灼熱與審視……一股沉重的洪流再次壓向他的心臟和每一個毛孔。
「只能自己造！」
他猛地抬起眼，聲音不高，卻帶著不容置疑的決絕，像鑿子釘進花崗岩。
「通知一體化軍工廠那邊，暫停原來的任務序列！最高優先級！」
他走到堆滿圖紙的大桌子前，一把扯開上面覆蓋的保護膜，露出下面早已鋪開、標註了大量複雜符號和線條的原始設計圖。
「老袁，你們集中力量，協助我完成對工作檯運動系統核心基礎設計的深度優化！我需要你們解決系統動力學和磁路設計的關鍵理論問題！」
「陳工！」
蘇定平轉向另一位。
「立刻帶人，按照我們優化後的設計圖紙，給我搭建一個……最接近未來工況的超真空動態測試樣艙！不需要多大，但要能在裡面進行核心運動部件的真空環境動態模擬測試！速度，越快越好！我需要驗證所有理論模型的邊界！錢……」
他咬了咬牙。
「繼續燃燒也要保證投入！」
「至於那些精密軸承……無論是超精密磁懸浮的磁極與線圈、氣浮軸承的微孔節流結構、還是壓電納米驅動器的核心材料與驅動晶片……」
他手指重重地點在圖紙上幾個用紅圈標註的關鍵點上。
「設計圖，我可以根據理論一步步搞出來！但製造！製造只能靠我們自己的廠子！
一體化工廠那邊，告訴他們，別指望買國外的儀器加工！就用我們自己能搞到的最強的加工中心！用鐠工！用最老道的八級工！用最原始的車銑刨磨！
也要給我把設計圖上，標著紅圈、精度要求在0.1微米甚至10納米級別的核心部件的毛坯，一個零件一個零件地硬啃出來！沒有條件，創造條件也要上！告訴他們，這是死命令！」
蘇定平的聲音在試驗車間裡迴蕩，帶著一種近乎悲壯的豪氣。
「材料！工藝！檢測！裝配！任何一個環節，都不允許掉鏈子！我們就在這圖紙上，在這工廠里，在這真空艙里，把這根骨頭給我啃下來！」
世界的另一頭，富庶的白鷹宮殿裡，氣氛同樣壓抑。
大酋長的辦公室里，昂貴的裝飾品絲毫不能緩解主人的壞脾氣。菸灰缸里塞滿了雪茄頭。
他又一次狠狠地按斷了桌上那部加密紅色電話——聽筒里傳來的依舊是刺耳又綿長的忙音。
「阿三！阿三王這個該死的混蛋！」
大酋長臉色鐵青，如同暴風雨前陰沉的天空。
「兩百億！整整兩百億的前期合作經費，就換來一堆廢料數據和一堆正在努力的空頭承諾！連我的電話都敢不接了？他以為他躲得掉？」
他像一頭被徹底激怒的雄獅，在厚厚的地毯上來回踱步。
旁邊最得力的幕僚，一個永遠面無表情、眼神卻透出精明的鷹鉤鼻男子，低聲建議道。
「酋長閣下，阿三部落最近尾巴翹得太高了。
他們覺得自己翅膀硬了，是時候……給它一點小小的教訓了。
讓它明白，在這個世界秩序里，誰才是真正的掌舵人。」
「教訓？怎麼教訓？我們在那邊可沒有直接的駐軍！」
大酋長煩躁地揮手。
「不需要我們親自動手。」
幕僚嘴角勾起一絲冷酷的弧度。
「非洲大陸上那麼多部落，有的是急於尋求朋友和資源的。
只需要一個合適的點，一個恰當的藉口，再加上……一點點微不足道的，恰好能激怒阿三王的助力……」
幾天後，幾架小型運輸機悄無聲息地降落在靠近阿三部落西北部邊境的另一個內陸小國——丹佛部落一處荒廢的軍用機場跑道上。飛機里沒有白鷹部落的軍事教官，但堆滿了散發著濃重機油味的全新單兵武器彈藥箱。
突擊步槍、機槍、火箭筒、迫擊炮……成色嶄新，足夠武裝起一個加強連。
幾名身著便裝、聲稱是「國際友好人士」的白鷹特使，在簡單的交接後，對著接收的丹佛部落一個小軍閥意味深長地說了一句。(本章完)